半导体芯片、精密元器件制造对车间洁净等级要求严苛,微小尘埃颗粒就可能造成晶圆短路、光刻缺陷、产品报废,洁净度常态化巡检、设备过滤器检漏、车间分级验收,都需要稳定可靠的粒子计数设备。蓝景智能尘埃粒子计数器,六通道同步检测,光学信噪比优异,适配电子半导体、精密机械无尘车间的洁净管控需求。
仪器采用进口半导体激光光源,光源寿命超 30000 小时,光散射传感器优化杂散光抑制结构,减少光学噪声,低浓度粒子识别更精准,测量重复相对误差<10%,流量误差≤±5%,保障多次平行采样结果一致性。六粒径通道覆盖 0.3μm 至 10.0μm 全范围,半导体行业重点关注的 0.3μm、0.5μm 粒子可同步采集,实时显示各通道粒子浓度变化,仪器内置算法自动完成 95% 置信度 UCL 计算,自动对照 ISO14644 判定洁净等级,快速判定车间是否达标。

内置温湿度、气压传感器,同步记录采样时环境工况,帮助工程师分析温湿度变化对粒子漂浮、静电扬尘带来的影响。安卓智能操作系统支持自定义采样配置方案,不同工艺车间、不同验收标准的采样参数提前保存,巡检时一键调用,提升多点巡检效率。数据支持 WiFi 上传监管平台,长期汇总洁净度趋势,快速定位产线局部超标点位;U 盘免驱导出、现场热敏打印,方便现场随测随出报告,配合第三方验收。
交直流两用设计,内置锂电池,脱离电源后可在车间内部多点移动巡检,搭配伸缩云台支架,采样头固定稳定,避免手持晃动带来采样偏差。采样模式丰富,单次、批量循环、连续采样可选,超标自动报警,及时发现过滤器破损、风口泄漏、人员带入污染等异常。仪器自净时间≤10min,测试完成后快速自净,避免交叉污染。整机小巧轻便,尺寸 185220200mm,裸机仅 3.25kg,便于工程师携带穿梭在光刻、封装、测试等不同洁净区域。适配半导体工厂、精密加工、光学元件无尘车间,帮助企业常态化监控洁净环境,提前发现污染隐患,降低精密产品不良率。